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本发明涉及一种钛靶材组件的车削方法，所述车削方法包括如下步骤：先将钛锭切断进行塑性变形；然后将得到的钛靶材坯料与背板进行焊接，得到钛靶材组件粗品；随后将得到的钛靶材组件粗品中的所述钛靶材坯料的溅射面依次进行粗车削和精车削，得到所述钛靶材组件；其中，所述精车削的待加工余量为0.4‑0.6mm，所述精车削分为至少2刀进行车削。本发明所述车削方法采用依次进行粗车削和精车削的机加工方式，并进一步限定了所述精车削的待加工余量以及分为至少2刀进行车削，使得钛靶材组件的溅射面不仅可以满足粗糙度要求，还可以保证
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112404461 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011158921.2 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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