一种物件的曝光定位方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种物件的曝光定位方法.pdf

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本发明揭示了一种物件的曝光定位方法，包括将载有多个曝光物件的物件载台置于测量载台上，物件载台上设置有至少三个标记点，测量载台测量得到每个标记点在测量载台自身的第一坐标系中的第一标记点坐标，及每个曝光物件在第一坐标系中的第一物件坐标；将物件载台移置曝光机载台上，曝光机测量得到每个标记点在曝光机自身的第三坐标系中的第三标记点坐标；根据第一标记点坐标、第一物件坐标和第三标记点坐标，计算得到每个曝光物件在第三坐标系中的第三物件坐标；曝光机根据第三物件坐标对曝光物件进行定位及曝光。本发明提高了曝光机的曝光

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112415860 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202011203952.5 审查员赵子甲 (22)申请日 2020.11.02