一种COF曝光机内玻璃掩模版的异物检测和清除的方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种COF曝光机内玻璃掩模版的异物检测和清除的方法.pdf

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本发明涉及一种COF曝光机内玻璃掩模版的异物检测和清除的方法，采用精密异物检测装置和异物清除装置，对COF曝光机内玻璃掩模版进行异物检测和异物清除；异物检测由入射光源发射入射光对玻璃掩模版进行照射，玻璃掩模版上的异物被照射后反射光生成异物坐标数据，将数据传输到处理器；异物清除采用异物清除装置，异物清除装置读取精密异物检测装置传出的数据，进行定点清除异物，由强力去静电离子风扇对异物进行吹风和静电去除，被去除静电的异物没有黏附性，同时异物吸取器强力把异物吸走，通过异物过滤器过滤后被异物储存器储存槽储

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112394621 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011343986.4 (22)申请日 2020.11.26 (71)申请人江苏上达电子有限公司