研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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研磨液供应系统、研磨液测试装置及研磨液测试方法.pdf

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本发明提供了一种研磨液供应系统，用于供应测试用的研磨液，包括储液装置、出液管道和开关阀，所述储液装置用于存储第一研磨液，所述出液管道的一端与所述储液装置相连，出液管道的另一端设有出液口，所述一端高于所述另一端，所述开关阀设置于所述出液管道上，所述开关阀开启或关闭以用于控制所述出液管道的通断。本发明的研磨液供应系统可以花费较小的代价，高效地完成第一研磨液的测试，避免第一研磨液因共用化学机械研磨设备的研磨液输送管而造成的研磨液混淆，防止第一研磨液的测试结果出现偏差。研磨液供应系统还能通过所述开关阀控

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112405355 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202011272771.8 B24B 37/34 (2012.01)