上电极组件及半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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上电极组件及半导体工艺设备.pdf

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本发明公开一种上电极组件及半导体工艺设备，该上电极组件用于半导体工艺设备馈入射频能量。所公开的上电极组件包括射频连接部、线圈连接部和导向套，导向套具有相背设置的第一端面和第二端面，第二端面开设有向导向套的内部延伸的安装空间，安装空间内设有多个定位空间，每个线圈连接部对应设置于一个定位空间内，相邻的两个线圈连接部间隔排布；第一端面开设有插接通道和连通空间，插接通道向导向套的内部延伸并与定位空间连通，插接通道与安装空间一一对应设置，射频连接部穿设于插接通道内，并与线圈连接部相连接；连通空间向导向套的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397370 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011280862.6 (22)申请日 2020.11.16 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司