基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置.pdf

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本发明提供了一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：装置底板、料盘单元、夹具单元、视觉监测单元、物料单元、探针单元、点胶单元和积分球，其中探针单元能够为激光器芯片上电发光，夹具单元会从所述料盘单元夹取反射镜并将反射镜运输至物料单元的耦合位置，通过点胶单元点胶并固化将反射镜固定在耦合位置；其中夹具单元的夹具运动机构能够驱动夹具机构自由运动实现精确位移，夹具机构能够通过夹取和吸附双重作用实现精确夹持，最终积分球会根据光线接收探头接收到的反射镜反射光判断耦合是否完成。本发明结构设计合理

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112387542 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011374167.6 F16B 11/00 (2006.01) (22)申请日 2