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本公开涉及进行红外感测的图像传感器和其制造方法。一种图像传感器包含半导体衬底、第一外延层、第二外延层、多个光电二极管和多个像素隔离结构。所述第一外延层形成于所述半导体衬底上，且所述第二外延层形成于所述第一外延层上。每一光电二极管包含形成于所述第一外延层中的第一扩散区和形成于所述第二外延层中的第二扩散区。所述第二扩散区延伸穿过所述第二外延层并且电耦合到所述第一扩散区。每一像素隔离结构包含形成于所述第一外延层中的相邻第一扩散区之间的第一隔离结构和形成于所述第二外延层中的相邻第二扩散区之间的第二隔离结
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112397534 B (45)授权公告日 2022.04.15 (21)申请号 202010400460.9 (51)Int.Cl.
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