一种支撑框架及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种支撑框架及其制造方法.pdf

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本公开提供一种支撑框架和支撑框架的制造方法，所述方法包括以下步骤：A)准备临时承载板；B)在所述临时承载板上形成线路层；C)在所述线路层上形成直立的金属导电柱和牺牲金属桩；D)用介质材料层压所述金属导电柱和所述牺牲金属桩形成介质层；E)减薄和平坦化所述介质层，暴露出所述金属导电柱和所述牺牲金属桩的端面；F)去除所述临时承载板；G)蚀刻掉所述牺牲金属桩以在所述介质层中形成嵌埋空腔。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112420524 B (45)授权公告日 2022.03.15 (21)申请号 202011166007.2 H01L 23/498 (2006.01) (22)申请日