用于频率调制干涉仪的路径波动监测.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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用于频率调制干涉仪的路径波动监测.pdf

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提出了使用相对于测量光具有任意频率的参考激光器来确定干涉仪中的路径长度波动的方法。该方法包括：沿干涉仪的信号路径注入参考光；测量干涉仪的输出处的参考光之间的干涉；通过测量参考光之间的干涉的强度调制并且从所测量的强度调制中减去预期的频率调制来确定干涉仪的两个信号路径中的参考光之间的光学相位差；累积干涉仪的两个信号路径中的参考光之间的展开相位差，其中，展开相位差是相对于参考定义的；以及使用展开相位差确定干涉仪中的光的路径长度波动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424562 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980047263.9 (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限