晶片光处理装置和烧结炉.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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晶片光处理装置和烧结炉.pdf

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本申请提供一种晶片光处理装置和烧结炉，该晶片光处理装置包括：晶片支撑装置、上部光源装置和下部光源装置。所述晶片支撑装置具有支撑件，所述支撑件被配置为能够将所述晶片支撑在所述上表面的上方；所述上部光源装置设置在所述晶片支撑装置的上方，并被配置为提供朝向所述支撑件的上表面照射的光源；所述下部光源装置设置在所述晶片支撑装置的下方，并被配置为提供朝向所述支撑件的下表面照射的光源。本申请提供的晶片光处理装置能够高效地处理晶片。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112420870 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 20191