基板缺陷检查装置及方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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基板缺陷检查装置及方法.pdf

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本发明的基板缺陷检查装置包括：移动工作台，将基板移动到检查位置；照明，为获取拍摄影像，将规定的光照射到基板；至少一个线扫描摄像机，以规定线为单位拍摄基板；至少一个区域摄像机，以规定区域为单位拍摄基板；数据库，存储用于检测基板缺陷的影像；控制部，用移动工作台来移动基板的位置，并控制照明来由线扫描摄像机获取拍摄基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于获取的影像，将基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，对判定为重新检查的基板控制照明，获取由区域摄像机拍摄基板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112394071 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202010806502.9 (22)申请日 2020.08.12 (30)优先权数据 10-2019-0