晶片搬送装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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晶片搬送装置.pdf

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本发明提供晶片搬送装置，其能够在利用晶片搬送装置保持着晶片的状态下进行晶片的定位。该晶片搬送装置具有：保持板，其具有与晶片的一个面面对的保持面；吸引保持部，其按照在保持面上露出的方式设置，以非接触的方式对与保持面面对的晶片进行吸引保持；三个以上的限制部件，它们分别具有能够自转的辊部，通过使辊部与吸引保持部所吸引保持的晶片的外周缘接触，限制晶片的在与晶片的一个面平行的方向上相对于保持板的移动；以及移动单元，其与保持板连接，使保持板移动，从而搬送晶片，三个以上的限制部件中的至少一个限制部件是旋转驱动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397427 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202010788583.4 (22)申请日 2020.08.07 (30)优先权数据 2019-1487