等离子体处理装置、等离子体处理方法、程序和存储介质.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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等离子体处理装置、等离子体处理方法、程序和存储介质.pdf

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该等离子体处理装置设置有：阻抗匹配电路；平衡‑不平衡变换器，该平衡‑不平衡变换器具有被连接至阻抗匹配电路的第一不平衡端子、被接地的第二不平衡端子、第一平衡端子及第二平衡端子；接地的真空容器；电连接到第一平衡端子的第一电极；电连接到第二平衡端子的第二电极；调整电抗器，该调整电抗器影响被施加到第一电极的第一电压与被施加到第二电极的第二电压之间的关系；高频电源，该高频电源产生经由阻抗匹配电路被供给在第一不平衡端子与第二不平衡端子之间的高频波；及控制器，该控制器控制阻抗匹配电路的阻抗及调整电抗器的电抗。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112292911 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 201880094963.9 (72)发明人田名部正治　关谷一成　井上忠　