有源区结构以及形成有源区结构的方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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有源区结构以及形成有源区结构的方法.pdf

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本公开提供一种有源区结构以及形成有源区结构的方法，该有源区结构包括设置于所述有源层上的有源区；其中，所述有源区为封闭结构，所述有源区包括沿预设方向的若干间隔设置的第一有源线、与所述第一有源线间隔且交替的第二有源线、第一封闭边界和第二封闭边界；所述第一有源线的两端均与所述第一封闭边界相交；所述第一有源线包括若干间隔设置的第一器件单元，所述第二有源线包括若干间隔设置的第二器件单元，所述第一器件单元与所述第二器件单元交错设置。这种结构可以均衡有源器件单元与其边界的应力，防止器件单元因为应力不均而损坏。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112271179 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011285381.4 (22)申请日 2020.11.17 (71)申请人福建省晋华集成电路有限公司