一种化学气相沉积法制备薄膜装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种化学气相沉积法制备薄膜装置.pdf

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本发明涉及晶体制膜技术领域，且公开了一种化学气相沉积法制备薄膜装置，包括壳体，壳体的内底壁固定连接有第一弹簧，第一弹簧的另一端固定连接有载物台，载物台上设有基体本体，第一弹簧的左右两侧且位于壳体的内底壁均固定连接有两个套筒，实现两个套筒的内部固定连接有第二弹簧。本发明通过两侧所需气体进入舱内使得带动载物台升降使得舱内压强得到控制，解决了现有技术单侧进气导致薄膜厚度不一的问题，同时通过第一弹簧、第二弹簧、限位杆、磁铁之间的配合设置实现装置内通过自动沉积，自动化程度高无需手动控制沉积时间，增加基体侧

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112267104 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011201511.1 (22)申请日 2020.11.02 (71)申请人张亚地址 2351