一种用于芯片制造的防止过度蚀刻的蚀刻装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种用于芯片制造的防止过度蚀刻的蚀刻装置.pdf

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本发明公开了一种用于芯片制造的防止过度蚀刻的蚀刻装置，包括浸没机构、用于放置芯片硅圆移动的移动机构、放料机构、机架，所述浸没机构设置在所述机架顶部，所述移动机构设置在所述机架前侧，所述放料机构位于所述移动机构顶部，还包括回收机构、脱水机构、皮碗和真空发生器，所述回收机构包括回收风机、回收罩、旋风集尘器、导流管。本发明利用真空发生器在皮碗内产生吸力来对晶圆进行固定，同时利用脱水电机带动脱水杆进行高速的转动，从而来将晶圆上的反应液进行甩干，利用脱水气缸、脱水架和脱水罩来对甩干时的晶圆进行套住，从而通

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112271158 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011139081.5 (22)申请日 2020.10.22 (71)申请人郑州竹蜻蜓电子科技有限公司