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本发明公开了一种微动台，包括：载台；旋转底座，位于载台下方；旋转驱动装置，包括驱动装置动子和驱动装置定子，驱动装置定子相对于旋转底座固定，驱动装置动子相对于载台固定；第一垂向移动装置，构造成能够驱动旋转底座垂直移动；微动底座，相对于微动底座垂向可滑动地连接至微动底座；柔性连接件，包括弹性片，弹性片水平径向延伸，且弹性片的径向外端连接至微动底座，弹性片的径向内端连接至旋转底座；以及浮动力补偿装置，位于旋转底座下方并构造成能够对旋转底座进行力补偿。本发明提供的微动台能够实现所承载对象在Rx/Ry方向
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112259488 B (45)授权公告日 2021.03.09 (21)申请号 202011523638.5 审查员 孙宏 (22)申请日 2020.12.22
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