压力感测装置及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种压力感测装置包含基板、至少一压力感测模块及封装层。压力感测模块设置于基板并包括多个导电单元、多个压力感测块及多个缓冲单元。每个导电单元具有第一电极与第二电极。压力感测块分别设置于导电单元，每个压力感测块具有电性连接相对应的导电单元的第一电极与第二电极且能在不同受压程度产生不同电阻大小的电路结构。每个缓冲单元设置于相对应的每个导电单元与每个压力感测块之间，且每个缓冲单元包括多个呈阵列排列地布设于相对应的导电单元的第一电极与第二电极的缓冲凸点。封装层接合于基板、导电单元及压力感测块。借此，确保封

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112240810 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 20191