检测器、检测装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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检测器、检测装置及其使用方法.pdf

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本发明实施例涉及检测器、检测装置及其使用方法。本发明一些实施例揭露一种检测器，其包含：衬底，其包含第一表面及与所述第一表面相对的第二表面；漏斗形凹槽，其从所述衬底的所述第二表面延伸到所述衬底的所述第一表面；导电层，其经放置于所述衬底的所述第一表面下方；绝缘层，其经放置于所述衬底与所述导电层之间；及第一贯穿通路，其延伸穿过所述导电层及所述绝缘层，且经耦合到所述漏斗形凹槽。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112240895 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010689175.3 (22)申请日 2020.07.17 (30)优先权数据