沉积装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.68万字
约 21页
2023-05-25 发布于四川
举报
版权申诉

沉积装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种沉积装置包括：基板支撑件，其中基板被固定到所述基板支撑件；面对所述基板的靶；第一磁体组件，被设置在所述靶下方，并且包括在第一方向上延伸并具有第一长度的第一磁体和至少部分地围绕所述第一磁体的第二磁体；以及第二磁体组件，被设置在所述靶下方且在基本垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一磁体组件间隔开，并且包括在所述第一方向上延伸并具有大于所述第一长度的第二长度的第一磁体和至少部分地围绕所述第二磁体组件的所述第一磁体的第二磁体，其中所述第一磁体组件的所述第二磁体和所述第二磁体组件的所述第二磁体在所

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112239854 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010680103.2 (22)申请日 2020.07.15 (30)优先权数据 10-2019-0