基于等离子体的检测器及使用该检测器用于测量和监测气流的特性的方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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基于等离子体的检测器及使用该检测器用于测量和监测气流的特性的方法.pdf

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提供了一种用于测量循环通过基于等离子体的检测器的气体的成分的方法，该基于等离子体的检测器具有限定内部容积的放电室，并且具有被配置为跨放电室施加等离子体生成场的放电电极。该方法包括使电压倾斜，直到其达到击穿电压以生成等离子体为止；检测等离子体的存在；在检测到等离子体的存在后基于击穿电压来确定压力；以大于击穿电压的操作电压来操作检测器；对等离子体执行(一个或多个)测量；基于(一个或多个)测量来生成检测器信号并基于确定的压力来补偿检测器信号以获得经补偿的检测器信号，该经补偿的检测器信号代表气体的成分。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112243494 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 201980035209.2 (74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事