载板升降装置和硅片处理设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.29万字
约 22页
2023-05-25 发布于四川
举报
版权申诉

载板升降装置和硅片处理设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种载板升降装置和硅片处理设备，载板升降装置包括：安装座；第一驱动机构，设置于安装座上，第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，第一驱动机构驱动基座相对安装座运动；顶升部，与基座滑动相连接；第二驱动机构，与第一驱动机构相连接，第二驱动机构随同基座同步运动；第二驱动机构上设置有推动部，第二驱动机构驱动推动部推动顶升部相对基座运动。通过将第二驱动机构与第一驱动机构相连接，优化了第一驱动机构和第二驱动机构之间的结构关系，使第二驱动机构可以随同基座的升降同步升降，以实现协同工作。进而实现提升

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112234021 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011186445.5 (22)申请日 2020.10.29 (71)申请人常州捷佳创精密机械有限公司