易挥发液态化学品供应系统及供应方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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易挥发液态化学品供应系统及供应方法.pdf

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本发明提供一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法，系统包括：供应槽；化学品输入管路，用于向供应槽输入化学品，其设有开关控制阀；液位侦测器，用于在侦测到化学品液位超过预设液位时，发送液位控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；重量侦测器，用于在侦测到化学品的重量超过预设重量值时，发送重量控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；供应管路，用于将化学品供应至机台。本发明的易挥发液态化学品供应系统具有双重安全保障，只要液位侦测器和重量侦测器的其中一路控制信号正常，即可保证化学品及时切断供

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112174082 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 20191