一种适用于多尺寸晶体生长的热场设备及方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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一种适用于多尺寸晶体生长的热场设备及方法.pdf

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本发明涉及一种晶体生长的热场设备及方法，属于晶体制备领域。解决晶体生长尺寸单一，效率低难量产的问题。包括冷却保护系统、抽真空系统、仪表控制系统、工艺供气系统、坩埚升降系统、热场保温系统、感应加热系统、红外检测系统、感应加热升降系统、电源高频加热系统、空调系统和供电系统，热场保温系统下侧安装坩埚升降系统，热场保温系统外侧安装感应加热系统，热场保温系统上侧安装红外检测系统，热场保温系统与冷却保护系统连接，抽真空系统与热场保温系统和工艺供气系统连接，热场保温系统和工艺供气系统与仪表控制系统连接，电源高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176401 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011109662.4 (22)申请日 2020.10.16 (71)申请人哈尔