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本发明公开了一种表面性能优越的正性光刻胶添加剂。本发明所涉及的正性光刻胶添加剂包括亲脂性非离子型表面活性剂和粘度增加剂两部分，其中亲脂性非离子型表面活性剂主要为含硅的低聚物表面活性剂和含氟的表面活性剂。由于传统使用重氮萘醌磺酸酯作为感光剂的正性光刻胶虽然分辨率高，图案线条清晰度高，但是其难于精制，烘干过程中易产生缩孔，粘附性和稳定性较差。本专利公布的添加剂组分有利于减少孔洞的发生，容易制得表面性能优越的正性光刻胶。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112180682 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010816243.8 (22)申请日 2020.08.14 (71)申请人 陕西彩虹新材料有限公司
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