一种激光制造自动聚焦系统.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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本发明提供一种激光制造自动聚焦系统，包括安装平台、光学模块、图像采集模块、精密位置调整模块、图像处理模块、通讯模块和运动控制模块。图像采集系统对激光在加工表面的光斑图像进行采集，经由图像处理模块进行处理，通过运动控制模块完成激光自动聚焦。精密位置调整模块可对图像采集模块进行位置微调，便于在视野中捕获光斑；通过光学模块的合理设计，可以在加工进行的同时，实现激光光斑的自动聚焦与实时监测。本发明可实现桌面级高精度激光微纳制造装置在加工面处的自动聚焦，具有低成本、运动精度高、调整范围大、灵活度高、模块化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162396 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202011142332.5 (22)申请日 2020.10.22 (71)申请人清华大学地址 10