一种多种气体检测芯片及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.9万字
约 19页
2023-05-20 发布于四川
举报
版权申诉

一种多种气体检测芯片及其制备方法.pdf

1、本文档共19页，其中可免费阅读18页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种多种气体检测芯片及其制备方法，该多种气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上；覆盖层包括多层第一覆盖层，多层第一覆盖层分别覆盖阵列层的不同区域，多层第一覆盖层完全覆盖阵列层。如此，得到的多种气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化，并且能够对多种气体同时快速检测的优点。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114923877 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210540633.6 (22)申请日 2022.05.17 (71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术