减少在光罩上微粒沉积的方法与极紫外光源及产生扰动的方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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减少在光罩上微粒沉积的方法与极紫外光源及产生扰动的方法.pdf

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一种减少在光罩上微粒沉积的方法与极紫外光源及产生扰动的方法，用以减少光罩上的微粒沉积的系统及方法是在光罩幕上的微粒沉积速率(特别是在极紫外光源中所产生的锡颗粒)是通过在极紫外光源的辐射源腔室中产生扰动而被减少。扰动是通过改变在辐射源腔室内的温度、压力及/或气体流速而产生。扰动减少存在于极紫外光源中可能沉积在光罩幕上的微粒沉积。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114879450 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202110902542.8 (22)申请日 2021.08.06 (30)优先权数据 63/172,793 2021