一种炉盖门及退火炉.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种炉盖门及退火炉.pdf

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本发明的实施例提供了一种炉盖门及退火炉，涉及半导体技术领域。该炉盖门及退火炉包括门板、把手组件和定位组件，门板可转动地设置于设备平台上，把手组件可转动地设置于门板上，门板和把手组件的转动平面位于同一平面；定位组件连接于门板和把手组件之间，定位组件用于在门板封闭退火炉的炉体的情况下对门板进行定位，其能够提升操作的便捷性，以解决炉盖门松动的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114877694 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210569098.7 (22)申请日 2022.05.24 (71)申请人无锡邑文电子科技有限公司地址 2