铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法.pdf

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本发明提出一种铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层薄膜的制备装置与制备方法，制备装置包括真空箱，所述真空箱的内部由上至下依次设有衬底加热器、传送架、蒸镀机构以及辅助加热器；所述蒸镀机构包括设于所述辅助加热器与传送架之间的第一蒸发壳，以及设于所述第一蒸发壳与传送架之间的第二蒸发壳；所述蒸镀机构还包括与所述第一蒸发壳顶端转动连接的多个出气盘，以及与多个所述出气盘相连接的连杆调节组件。本发明能够同时输送两路蒸汽的同时，使得两路蒸汽能够从固定且单一的位置出气，以及对两路蒸汽的快速切换，以提高铜锌锡硫硒太阳能电池吸

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114892140 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210511338.8 C23C 14/54 (2006.01)