一种改善圆片接触损伤的圆片承载部件.pdfVIP

下载本文档

0
0
约4.63千字
约 6页
2023-05-19 发布于北京
举报
版权申诉

一种改善圆片接触损伤的圆片承载部件.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明一种改善圆片接触损伤的圆片承载部件，包括用于承载圆片的托盘，托盘为顶面开设有凹槽的圆柱体，凹槽的中心与托盘的中心重合，凹槽分为两部分，一部分为侧面，另一部分为底面，侧面与底面相连，底面为下凹的球面，侧面为圆环形的倾斜面，侧面从托盘的顶面向内且向下延伸至与底面相交，侧面的顶部直径大于圆片直径，侧面的底部直径小于圆片直径，圆片底部边缘与侧面接触，圆片底部与凹槽的底面具有间隙。本发明通过设置特殊的凹槽结构，使得圆片与承载部件接触面减少，从而减小圆片的损伤。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114899140 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210509644.8 (22)申请日 2022.05.11 (71)申请人中环领先半导体材料有限公司地址