过滤装置及具有其的光刻胶涂布系统.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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过滤装置及具有其的光刻胶涂布系统.pdf

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本发明属于光刻胶涂布技术领域，具体涉及一种过滤装置及具有其的光刻胶涂布系统。所述过滤装置包括：过滤机构所述过滤机构包括过滤件，所述过滤件上设有多个过滤孔；振动机构，所述振动机构与所述过滤机构间歇性接触，所述振动机构用于驱使所述过滤机构振动根据本发明的过滤装置，过滤装置包括过滤机构和振动机构，振动机构与过滤机构连接，当过滤机构内的过滤效率降低时，振动机构驱使过滤机构振动，使夹持在过滤机构上的小气泡脱离原来的位置，从而提高过滤机构的过滤效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114870628 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202110160738.4 B01D 29/72 (2006.01)