一种薄膜沉积设备的监控系统及监控方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种薄膜沉积设备的监控系统及监控方法.pdf

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本发明提供了一种薄膜沉积设备的监控系统及监控方法。其中，监控系统包括：数据获取模块，包括第一获取模块，用于获取沉积得到的薄膜的消光系数；监控模块，包括第一监控模块，用于判断所述消光系数是否异常，并在所述消光系数出现异常时，检查设备内的气体流量是否异常。在本发明提供的监控系统及监控方法中，通过实时监控消光系数实现对气体流量的监控，大大提高对设备内的气体流量的监控频率，便于及时发现气体流量的异常，有助于提高产品质量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883217 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210420829.1 (22)申请日 2022.04.20 (71)申请人上海华力微电子有限公司地址 20