过滤除尘器及过滤除尘系统.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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过滤除尘器及过滤除尘系统.pdf

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本申请公开了一种过滤除尘器及过滤除尘系统，在该过滤除尘器的过滤容腔内进气口和出气口的下方设置第一过滤网，使得进入过滤容腔的气体中的杂质在重力作用下到达第一过滤网进行过滤，同时在过滤容腔内进气口和出气口的上方设置吹扫装置，利用吹扫装置从过滤容腔顶部喷洒气体，增加进入过滤容腔的气体中的杂质向第一过滤网的下沉量，并且，通过设置第一过滤网的直径，使得排放气体中金、银或铝等贵金属透过第一过滤网收集到第一回收部件中，并使得排放气体中可回收利用砂被第一过滤网过滤后收集到第二回收部件中，即可在对半导体制造过程中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114870537 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210667677.5 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人江西乾照光电有限公司地址 330