一种显示面板的制造方法及显示面板.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种显示面板的制造方法及显示面板.pdf

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本申请实施例公开了一种显示面板的制造方法及显示面板，显示面板的制造方法包括：在基底上形成薄膜晶体管的阵列结构及各膜层，包括形成薄膜晶体管的源极和漏极；在薄膜晶体管上形成第一无机层；在第一无机层上形成第一有机层；通过刻蚀气体刻蚀第一有机层和第一无机层至少形成第一通孔，第一通孔贯穿第一有机层和第一无机层，其中，刻蚀气体中不包括氧离子；在第一有机层上形成第一金属层，第一金属层图案化至少形成第一电极，第一电极通过第一通孔电连接源极和漏极的其中之一。本申请通过在刻蚀气体中去除氧离子，减小或避免氧离子横向刻

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114879394 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210472583.2 (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有