阵列基板及其制备方法、液晶显示面板及显示装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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阵列基板及其制备方法、液晶显示面板及显示装置.pdf

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本申请提供一种阵列基板及其制备方法、液晶显示面板及显示装置。阵列基板的制备方法包括：提供衬底；形成位于衬底上的薄膜晶体管的栅极；形成位于栅极背离衬底一侧的有源层薄膜及覆盖有源层薄膜的第一掩膜薄膜，有源层薄膜在衬底上的正投影覆盖衬底；对第一掩膜薄膜进行图形化处理，得到第一掩膜层；将有源层薄膜未被第一掩膜层覆盖的区域刻蚀掉，得到薄膜晶体管的有源层；形成第一电极薄膜，第一电极薄膜在衬底上的正投影覆盖衬底，对第一电极薄膜进行刻蚀，得到第一电极；去除第一掩膜层；形成第二电极、及薄膜晶体管的第一极和第二极；

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114779546 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210435836.9 (22)申请日 2022.04.24 (71)申请人福州京东方光电科技有限公司地址