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本发明实施例提供的基于多模干涉波导的高相干性激光面阵,用来解决半导体激光面阵的高功率、高相干度、窄线宽输出问题。通过采用错位分布的多模干涉波导作为各激光单元中光束的相干合束元件,结合高反射光栅和二阶衍射光栅,在大电流工作状态下提供纵向模式选择和低温漂波长稳定的反射光谱和向底面发射的衍射光,实现二维分布的脊形增益波导激光单元中光模式的相干耦合和表面发射出光,同时利用脊形增益波导对窄线宽激光进行放大,实现高功率、高相干性的表面发射窄线宽激光。相比于其他半导体激光面阵,具有体积小巧、集成度高、激光相干
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114784627 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210374400.3
(22)申请日 2022.04.11
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
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