一种用二次分束实现指向无依赖的差分干涉相衬成像系统.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种用二次分束实现指向无依赖的差分干涉相衬成像系统.pdf

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本发明公开了一种用二次分束实现指向无依赖的差分干涉相衬成像系统，包括照明入射端光路组件，所述照明入射端光路组件包括沿入射光传播方向布置第一偏振分光棱镜DIC1和第二偏振分光棱镜DIC2，所述DIC1和DIC2二者成一组，用于对一光束进行二次分束、均分成能量相等的2×2光束阵列，并可依此原理推广为2m×2n(m≥1，n≥1)的光束阵列，以在物像面实现二维平面指向无依赖的剪切干涉、进而以干涉图案的形式对样品信息进行记录。本发明提出一个既不需要旋转样品，也不需要旋转偏振成像光路的方法，能够使差分干涉相

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114778552 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210390145.1 (22)申请日 2022.04.14 (71)申请人中电科风华信息装备