镀覆装置以及冲洗处理方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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镀覆装置以及冲洗处理方法.pdf

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本发明涉及镀覆装置以及冲洗处理方法。本发明提供一种能够抑制冲洗液大量进入镀覆槽的镀覆液中的技术。镀覆装置(1000)具备能够执行冲洗处理的冲洗模块(40)，冲洗模块具备：冲洗喷嘴(41)，在执行冲洗处理时，朝向被冲洗部件(25)喷出冲洗液；吹气喷嘴(42)，配置于比冲洗喷嘴靠下方的位置，在执行冲洗处理时，以横穿镀覆槽与基板保持件(20)之间的空间的方式吹出气体；以及回收部件(50)，配置于从吹气喷嘴吹出的气体的下游侧，对从被冲洗部件落下而随着从吹气喷嘴吹出的气体的流动的冲洗液进行回收。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114746586 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202180006466.0 (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限