一种复合阴极大功率等离子体发生器及引弧方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种复合阴极大功率等离子体发生器及引弧方法.pdf

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本发明公开一种复合阴极大功率等离子体发生器及引弧方法，包括复合阴极、引弧电极、电极间插件、阳极，复合阴极由端面阴极和环靶阴极组成，端面阴极位于最上端，由阴极支撑冷却单元固定，而后顺序依次连接环靶阴极、引弧电极、多个电极间插件和阳极；端面阴极，阴极环，引弧电极，电极间插件，阳极外圈均由独立的绝缘环固定，形成模块化结构，通过周向分布的压紧杆同轴紧密绝缘连接，所有电极中间形成一个电弧通道，各环之间均设置有能产生涡流气体的进气环；阴极支撑冷却单元设置有独立冷却通道，用于冷却端面阴极。该发明采用模块化结构

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114710870 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210313091.9 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院地址