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本发明涉及集成硅基起偏器,具体是一种大带宽、高偏振消光比的集成硅基起偏器。本发明解决了现有集成硅基起偏器带宽小、偏振消光比低、加工误差敏感度高、插入损耗高、加工难度大、加工成本高、尺寸不够紧凑的问题。一种大带宽、高偏振消光比的集成硅基起偏器,包括芯层波导、亚波长光栅、两个渐变锥形波导;其中,芯层波导包括开口向右的半圆弧波导段、分别延伸设置于半圆弧波导段两端的两个直波导段;亚波长光栅的各个栅条均为开口向右的半圆弧形栅条;亚波长光栅的周期为固定值;亚波长光栅的各个栅条的占空比由内向外逐渐减小;亚波长
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114706166 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210331449.0 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 中北大学 地址 030051 山西
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