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一种电容容值测量装置及测量方法,装置包括:直流电压模块、隔离模块和测量模块;直流电压模块,用于向待测器件施加直流电压信号;隔离模块,分别与测量模块和直流电压模块连接,用于防止直流电压信号流向测量模块并防止交流测试信号流向直流电压模块;测量模块,用于测量出待测器件在不同直流电压信号下的电容容值。通过直流电压模块输出直流电压信号至待测器件,通过测量模块测量出待测器件在不同直流电压信号下的电容容值,可以测量出待测器件在施加不同直流电压信号下的电容值变化情况,同时通过隔离模块防止直流电压信号流向测量模块
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114705921 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210351817.8 (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人 中芯集成电路(宁波)有限公司 地址
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