一种蒸发源装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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一种蒸发源装置及其使用方法.pdf

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本发明涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸发源装置及其使用方法。该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔，第二挡板上开设有第二蒸镀孔，第一蒸镀孔与第二蒸镀孔能够形成流通通道；其中，转动转轴连接第一挡板和第二挡板；两个蒸发源沿竖直方向分别设于两个第二挡板的下方，其中一个蒸发源内设有第一蒸镀材料，另一个蒸发源内设有第二蒸镀材料。本发明中转动转轴能够驱动第一挡板和第二挡板分别绕转动转轴的轴向旋转，从而调整流通通道的流通面积，且第一蒸镀材料和第二蒸镀材料的掺杂

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114672772 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210404325.0 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人昆山梦显电子科技有限公司地址 2