无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法.pdf

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本申请提供了一种无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法，该碳化硅籽晶固定装置包括籽晶托和籽晶盖。籽晶托为中部掏空的环形结构，并且沿其中轴线方向依次包括籽晶支撑部、籽晶容纳部、籽晶盖容纳部。同时，籽晶支撑部的内周形状与籽晶的外周形状相同，籽晶支撑部的内径小于籽晶的外径，籽晶容纳部的内径大于籽晶的外径，籽晶容纳部的高度大于籽晶的厚度。利用上述结构和尺寸设计，将籽晶装入籽晶托，并将籽晶盖装入籽晶托后，仅籽晶的边缘依靠自身的重力与籽晶支撑部相接触，进而在单晶生长过程中，籽晶与籽晶固定装置之间

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114686984 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011619910.X (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人广州南砂晶圆半导体技术有限公司地址