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本发明涉及一种使用时序控制启闭之真空阀门，包含密封板、纵向驱动缸以及横向驱动缸。在闭合操作时，第一流体系先推动纵向驱动缸之第一活塞杆由第二位置上升至第一位置，藉以允许第一流体推动横向驱动缸之第二活塞杆移向阀口，并使得密封板闭合阀口。在开启操作时，第二流体系先推动横向驱动缸之第二活塞杆朝着远离阀口之方向移动，再使得纵向驱动缸之第一活塞杆由第一位置下降至第二位置。藉此，本发明不需使用止逆阀，且不须采用面积压力比之控制方式，且纵向驱动缸之刚性强度不受第一活塞杆之升降而影响，故运作较稳定。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116045016 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202210078124.6 (22)申请日 2022.01.24 (30)优先权数据 110140007 2021.
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