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公开了一种用于测试集成电路器件(1)的方法,该方法包括:对集成电路器件(1)进行缺陷建模;基于从缺陷建模获得的信息对集成电路器件(1)进行故障建模;基于从故障建模获得的信息进行测试开发;以及对集成电路器件(1)执行测试。对集成电路器件(1)进行缺陷建模包括:执行对集成电路器件(1)的物理缺陷分析(10),以提供从与集成电路器件(1)相关联的一组无缺陷技术参数(Tpdf)修改的一组有效技术参数(Tpeff);以及使用该一组有效技术参数(Tpeff)来执行对集成电路器件(1)的电学建模(11),以基
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641826 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202080076817.0 (74)专利代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理
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