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本发明涉及一种气体混合器装置(1)，该气体混合器装置用于混合多种气体(G1,…,GN)以产生包括期望组合物的气体混合物(G)，其中气体混合器装置(1)包括：基础结构(200)，该基础结构支撑用于接收相应气体(G1,…,GN)并存储该气体混合物(G)的混合室(2)；和多个质量流量控制器(10)，该多个质量流量控制器被配置成测量和控制相应气体(G1,…,GN)的质量流量。根据本发明，相应质量流量控制器(10)被配置成可释放地连接到基础结构(200)。此外，本发明涉及一种用于产生包括期望组合物的气体混
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641748 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202080077475.4 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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