一种磁控溅射真空镀膜机.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种磁控溅射真空镀膜机.pdf

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本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱式镀膜机室，固定连接在镀膜机底部的底座，还有铰链连接的镀膜机室门，镀膜机右侧位置固定连接有闭门器，闭门器压紧室门，所述磁控溅射真空镀膜机还包括：靶材溅射机构包括若干磁控靶，磁控靶包括安装在镀膜机上的靶材和旋转阴极，磁控靶设置为若干组，所述镀膜机室中心设置两组磁控靶，所述镀膜机室内部侧边对称设置两组磁控靶。通过本发明设计的一种磁控溅射真空镀膜机，采用真空溅射镀膜原理对物件进行镀膜，镀膜均匀，同时镀膜工作效率高，并且真空抽取速度较快，室内压强稳定，使用安全便

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114635110 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210120726.3 (22)申请日 2022.02.09 (71)申请人丹阳市宝来利真空机电有限公司地址