一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置.pdf

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本发明提供一种基于热能流场的晶圆清洗蚀刻装置，包括：放置台，通过旋转轴固定于底板上；晶圆，设置于放置台上；第一喷淋模组，通过第一喷嘴向晶圆的表面喷淋清洗溶液；一第二喷淋模组，通过第二喷嘴向晶圆的表面喷淋雾化溶液以于晶圆的表面形成热能流场；第三喷淋模组，通过第三喷嘴向晶圆的表面喷淋蚀刻溶液；控制模块，用于控制旋转轴进行旋转，控制转动件进行转动以带动第一喷嘴移动至晶圆的上方并控制第一喷嘴喷淋清洗溶液，控制第二喷嘴喷淋雾化溶液，以及控制第三喷嘴喷淋蚀刻溶液。有益效果是本装置通过第二喷嘴在晶圆表面形成热

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639618 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202111677809.4 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人上海至纯洁净系统科技股份有限公