横向激励体声波谐振器及滤波器.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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横向激励体声波谐振器及滤波器.pdf

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一种横向激励体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该横向激励体声波谐振器包括衬底、位于衬底上的压电层和分别位于压电层上的上叉指电极层、横向反射结构和纵向反射结构；横向反射结构包括沿第一方向排布于上叉指电极层两侧的两第一反射条，纵向反射结构包括沿第二方向排布于上叉指电极层两侧的两第二反射条，第二方向与第一方向垂直且与衬底和压电层的层叠方向垂直；第一反射条沿第一方向和第二反射条沿第二方向的宽度分别大于上叉指电极层的各子电极沿第一方向的宽度，且第一反射条和第二反射条在压电层上的高度分别大于上叉指电

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114584103 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210235815.2 H03H 9/54 (2006.01) (22)申请日 2022.03.1